ユニテク 株式会社

カスタム事例
(特注・機能追加)

イオナイザ追加・エア流量個別調整仕様

生産条件に合わせた柔軟な除電対策を実現

ユニテクの基板クリーナーは、標準仕様で装置の入口・出口にキーエンス製イオナイザを搭載し、基板クリーニング工程における静電気対策に対応しています(*1)。
さらに、お客様のご要望に応じて、装置内部へのイオナイザ追加や、各イオナイザのエア流量を個別に調整できる仕様への変更も可能です。

また、オプションで供給エア圧の監視・モニター機能にも対応。生産環境や静電気管理の条件に合わせた、柔軟な除電システムをご提案します。

なお、イオナイザはキーエンス製を標準採用していますが、お客様のご要望に応じて、他メーカー製への変更にも柔軟に対応いたします。
(*1:CVタイプ)

お客様の課題

  • 基板の帯電対策をさらに強化したい
  • ゴムロールとの接触エリアにおける基板裏面の静電気対策を行いたい
  • 基板や生産条件に合わせてイオンブローのエア流量を調整したい
  • イオナイザへの供給エア圧を確認・管理したい

解決策

イオナイザの追加とエア流量の個別調整に対応

標準仕様では、装置入口・出口にキーエンス製イオナイザを搭載し、共通のスピードコントローラでエア流量を調整します。

さらに、必要に応じて装置内部の下部にイオナイザを追加。ゴムロールが接触する基板裏面のエリアに向けてイオンブローを行うことで、クリーニング工程中の静電気対策を強化します。

また、スピードコントローラの追加により、各イオナイザのエア流量を個別に調整することも可能です。

供給エア圧の監視・モニター機能にもオプションで対応し、お客様の生産条件に合わせた除電対策を実現します。

選ばれる理由

  • 基板裏面への除電対策を強化

    装置内部の下部にイオナイザを追加することで、ゴムロールとの接触エリアに向けたイオンブローが可能になります。基板裏面の静電気対策を強化し、帯電による異物付着リスクの低減をサポートします。

  • 生産条件に応じたエア流量の最適化

    スピードコントローラの追加により、イオナイザごとのエア流量を個別に調整可能。基板の種類や生産条件に応じた、柔軟なイオンブロー設定を実現します。

  • 供給エア圧の見える化

    オプションのエア圧監視機能により、イオナイザへの供給エア圧をモニターできます。エア供給状態の確認を通じて、除電設備の管理をサポートします。

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お客様の基板で、クリーニング効果をお確かめください

ユニテクでは、お客様の実際の基板を使用したクリーニングテストに対応しています。
さらに、キーエンス製デジタルマイクロスコープ「VHX-8000」やレーザ元素分析装置「EA-300」を保有しており、
クリーニング前後の拡大観察から異物の元素分析まで対応可能です。
異物の種類や付着状態を詳しく確認し、分析結果をもとに、お客様の製造工程に適したクリーニング方式・装置仕様をご提案します。
基板表面の汚れや異物による品質不良でお困りの際は、ぜひお気軽にご相談ください。

デモ機貸出 / 実基板テスト / 拡大観察 / 異物元素分析